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光刻用掺钛石英玻璃

图集编号：GB/T45826-2025

当前状态：现行

所属分类：国家标准

发布部门：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)

文件格式：PDF

文件大小：377.8 KB

发布日期：2025-05-30

起草单位：

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司中国建筑材料科学研究总院有限公司中国国检测试控股集团股份有限公司玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司中国科学院微电子研究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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