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玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法

图集编号：GB/T33826-2017

当前状态：现行

所属分类：国家标准

发布部门：全国纳米技术标准化技术委员会

文件格式：PDF

文件大小：1.5 MB

发布日期：2017-05-31

起草单位：

中国建筑材料科学研究总院漳州旗滨玻璃有限公司宣城晶瑞新材料有限公司冶金工业信息标准研究院中国建材检验认证集团股份有限公司中国建材检验认证集团（陕西）有限公司

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本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行

玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法