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光掩模石英玻璃基板

图集编号：GB/T34178-2017

当前状态：现行

所属分类：国家标准

发布部门：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

文件格式：PDF

文件大小：808.2 KB

发布日期：2017-09-07

起草单位：

中国建材检验认证集团股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司长沙韶光铬版有限公司中国建筑材料科学研究总院国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

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本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板