特种气体系统工程技术标准(附条文说明)

为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定