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半导体用透明石英玻璃管

图集编号：JC/T597-2011

当前状态：现行

替代情况：JC/T597-1995

所属分类：行业标准

发布部门：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

文件格式：PDF

文件大小：762.4 KB

发布日期：2011-12-20

起草单位：

中国建筑材料检验认证中心中国建筑材料科学研究总院

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图集详情

本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃管。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准