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集成电路用石英舟

图集编号：JC/T2372-2016

当前状态：现行

所属分类：行业标准

发布部门：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

文件格式：PDF

文件大小：506.7 KB

发布日期：2016-07-11

起草单位：

上海强华石英有限公司

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图集详情

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟