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硅集成电路芯片工厂设计规范(附条文说明)

图集编号：GB50809-2012

当前状态：现行

所属分类：国家标准

发布部门：待完善！

文件格式：PDF

文件大小：28.7 MB

发布日期：2012-10-11

起草单位：

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司信息产业部电子工程标准定额站

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图集详情

本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计