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多晶硅工厂设计规范

图集编号：GB51034-2014

当前状态：现行

所属分类：国家标准

发布部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

文件格式：PDF

文件大小：6.9 MB

发布日期：2014-08-27

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本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和硅烷提纯的工程设计