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电子工厂化学品系统工程技术规范(附条文说明)
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电子工厂化学品系统工程技术规范(附条文说明)
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图集编号:
GB50781-2012
当前状态:
现行
所属分类:
国家标准
发布部门:
中华人民共和国住房和城乡建设部
文件格式:
PDF
文件大小:
4.1 MB
发布日期:
2012-06-28
起草单位:
信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 信息产业部电子工程标准定额站
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图集详情
本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收